機器消耗品市場

商品NO	1848	商品名	マグネトロンスパッタ装置	メーカー	（株）真空デバイス	管理	（株）真空デバイス
		型式	MSP-20MT	価格		商品問合せ
特徴	この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。煩雑な操作手順を必要としない操作性、大型試料にもコーティング可能な４インチターゲットを搭載しています					カタログ
仕様	電源： AC100V，15A アース線付き３芯プラグ装置本体サイズ：Ｗ３５０ｍｍｘＤ４４０ｍｍｘＨ３５０ｍｍ装置本体重量：２０kg ロータリーポンプ：排気速度５０ℓ／ｍｉｎ（ＧＬＤ－０５１）重量１４．６ｋｇ試料室サイズ：内径１４９ｍｍｘ高さ８２ｍｍ（硬質ガラス）電極―試料ステージ間隔：５０ｍｍ試料ステージ：直径100mm 搭載可能試料サイズ： φ100mm　（設置可能サイズφ130mm）高さ３５ｍｍスパッタターゲット金属仕様：直径100mm （実効径98ｍｍ）、　厚さ0.1mm　Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｔ-Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ雰囲気ガス：Ａｉｒ（空気）又はＡｒ（アルゴン）
備考				管理NO

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